新時代製造標準：歐姆龍 CT 型 X 光自動檢查系統的前瞻性商業應用 - 生成式 AI 和電動車的技術變革引領高端半導體製造進入精確檢測新紀元

隨著生成式AI和數據中心的流量持續增長，全球數據使用量顯著上升，而5G/6G通信技術的快速發展，進一步推動了應用半導體的微型化趨勢。

尤其在微型化技術領域，技術難度已達到極高水準。隨著微型化進程的持續推進，對稱為Chiplets (小晶片)的集成技術進行封裝的需求將不斷增加。與傳統的平面設計相比，Chiplets(小晶片)結構更為複雜，並且採用三維封裝，這對檢測精度提出了更為嚴苛的要求。 

隨著xEV（電動車）及多功能集成模組（如eAxle）的加速研發，汽車業界的環保趨勢日益顯著。為進一步優化模組設計的空間利用並提升效率，3D封裝技術已成為業界關注的核心技術。隨著3D封裝技術在各行各業的應用逐步擴大，傳統的2D-X光檢測系統在準確判斷這些高度集成產品的良品率方面已顯現出其局限性，這對生產效率的提升及產品質量的保障提出了新的挑戰。同時，為應對供應鏈多樣化的需求並構建不依賴人工的自動化生產系統，對多地協同生產的穩定性需求也在日益增強。

為了應對這些需求，三款全新商業化的CT型X光自動檢查系統應運而生，結合了OMRON專有的控制技術與先進的影像處理技術，實現了高速且高精度的檢測。這些系統通過無縫控制設備的連續影像技術與高靈敏度攝像機的結合，成功達成了高分辨率、易辨識的3D影像的高速成像。 

此外，該系統採用了最先進的3D檢測技術，該技術同樣應用於醫療領域的CT掃描儀，能夠高速生成精確的三維模型，使得在生產現場實現過去難以達成的在線質量檢測成為可能。系統利用專屬的AI技術，自動優化檢測影像的條件設置，並自動生成檢測程序，這一過程以前只能依賴經驗豐富的工程師和技術人員來完成，現在則可通過AI技術高效實現。

 OMRON憑藉其在控制技術領域的深厚實力，通過 “創新自動化” （Innovative-Automation）理念，持續推動生產現場的效率提升。我們將不懈努力，進一步提升生產力，同時推動製造現場朝著可持續發展的方向邁進。OMRON致力於通過創新自動化技術，為人類、產業和地球的未來創造更豐富的價值。

CT型X光自動檢測系統新產品概覽

Value Proposition

1.  透過卓越的高速3D自動檢測技術，保障半導體封裝與功率半導體生產的質量穩定性和可靠性。

由於不同行業和檢測對象在形狀及構成材料上存在差異，因此針對每個型號，OMRON對X光源的輸出特性和檢測方法進行了精確優化。通過結合OMRON專有的控制技術與先進的影像處理技術，實現了對各類半導體封裝中微凸點（μBump）和C4凸點焊接質量的可視化檢測。這項影像技術有力支持了半導體設備的微型化與薄型化需求。透過X光透射影像技術，電路板和半導體所使用的焊料3D建模速度提升了約30%。此外，檢測結果數據符合SEMI通訊標準（SECS/GEM），能夠與生產控制系統無縫連接，實現生產過程的量化條件監控。這一高速檢測技術在不增加生產線負擔的情況下，大幅提升了半導體的生產良率。

2.  憑藉專屬AI技術的高級影像處理功能，實現自動檢測設置，確保產品質量判定的精準性。

VT-X系列是首款採用人工智慧技術的在線檢測系統，透過深度學習技術對捕捉的影像進行處理，以確定產品的合格性。該系統利用AI生成的3D模型，自動判斷每個產品的焊接條件，從而實現檢測程序的自動化建立，無需依賴影像處理技術人員的專業技能。

3.  VT系列中率先支持無塵室環境，並能根據生產需求自動調整檢測設置

X950是VT系列中首款支援中間製程半導體無塵室的產品，專為晶圓鍵合製程而設計。X950還具備自動更改檢測設定的功能，能夠靈活應對因需求波動導致的生產項目變化。該系統會參考預先在生產控制系統中註冊的測量點和檢測設置，自動調整檢測條件，從而減少啟動損失和重新設定檢測參數的時間成本。此外，與傳統VT系列產品一樣，X950配備了基於輸送帶的自動上下料功能，有助於實現製造流程的自動化並減少人力需求。

關於“創新-自動化”

歐姆龍正在推動獨特的「創新自動化」概念，致力於打造新型自動化系統，推動製造業革命性變革，同時實現與全球環境的共生，並提升所有工人的使命感，為經濟增長做出貢獻，推動可持續產業的發展。

展望未來製造業，歐姆龍將基於「數位工程轉型」，探索生產力的新途徑，致力於實現「超越人類能力的自動化」以及「人機高級協作」，以引領製造業邁向更豐富和可持續的未來。

關於OMRON Corporation

OMRON Corporation是一家領先的自動化公司，憑藉在感測與控制技術的核心能力，從事工業自動化、醫療保健、社會系統和設備模組解決方案等廣泛業務。成立於1933年，OMRON擁有約30,000名員工，在全球130多個國家提供產品和服務。更多資訊請訪問 https://www.omron.com/global/en/。